当前位置:主页 > 知识百科 > 生活百科 > 正文

退火炉操作规程

发布时间:2021-10-29 13:26 来源:互联网 点击:0
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。那么退火炉的操作规程有哪些? 退火炉的操作规程:

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。那么退火炉的操作规程有哪些?

退火炉操作规程

退火炉的操作规程:

一、 退火炉装炉前的检查和准备工作

1、检查冷却循环水系统是否正常,进水、回水闸门是否打开。流经循环风机、炉门的冷却水是否畅通,有无漏水现象,冷却水压力是否达到0.1~0.3Mp,水温低于25℃,水量是否合适。

2、检查风压系统是否正常,管道有无漏气现象,风压是否达到0.4~0.6Mp,炉门气缸工作是否正常。

3、检查电气设备、仪表工作是否正常,热电偶是否完好,有无短路现象,测温是否准确。

4、检查炉门提升机构工作是否正常,链条、钢丝绳有无损坏、断丝。炉门升降应无卡阻、碰撞现象,机构动作必须灵活,炉门安全销伸缩自如,上下行程开关工作灵敏可靠。

5、检查循环风机、吹洗风机轴承润滑是否良好,转动是否正常,有无杂音。

6、清除炉子周围的障碍物、易燃物。将炉膛内、铝卷、小车及小车轨道内的铝屑、脏物清扫干净。

二、退火炉进出炉操作规程

1、装炉前应按生产工艺卡片要求,认真核对带卷或垛板的合金牌号、批号、规格、状态、重量,按要求填写记录。

2、装料时一定要装正,带卷上下左右前后基本对称,卷与卷之间间隙基本一致,不允许超重、超长、超宽、超高。退火时卷与卷、垛与垛的重量差要尽量小(卷与卷的重量差小于1 T,垛与垛的重量差小于0.5T)。特殊情况时,考虑装炉的经济性,可将不同厚度、不同重量的成品装在一炉内退火,但必须分区控制温度,有重量差时应将热电偶插在小卷或小垛上。

3、正确安插热电偶。热电偶的安插深度为:卷材25~30mm,板材≮50mm。其安插位置必须位于卷或垛的中心位置,并要求安插牢靠,不漏气,无短路现象。

4、打开炉门。首先松开炉门压紧装置,将炉门提升到上极限位置,并插好安全销。

5、进炉过程。

(1)10T炉应先把小车和料车间的销子插好,然后开动小车,把料车推进炉膛内,等料车到位停稳后拔出销子,最后把小车开出炉膛停在原定的位置上。

(2)20T炉应先接通卸料车电源,启动油泵电机,用顶升机构将装有工件的料盘顶升到上限位,然后把卸料车开入炉膛内到正确位置,并将料盘放在炉膛内的立柱上,待料盘放稳后,把卸料车开出炉膛外停在原定的位置上,并关停油泵及卸料车电源。

6、关闭炉门。等小车停稳后,拔出炉门安全销,降下炉门到下极限位,并用气缸压紧炉门。炉门压紧应均匀、密封,无明显漏气现象。

7、出炉过程与进炉过程的操作程序相反。

三、退火炉温控系统操作规程

1、应先确认炉门关闭密封完好,检查电气系统正常后,方可操作。

2、先逐个启动每区的轴流风机。

3、启动每区的循环风机,等到电机电流稳定后,再启动另一台风机,保证每一区的风机稳定运转。

4、按生产工艺卡片的工艺要求,在温控智表上输入工艺控制参数。

5、打开排烟阀门,启动吹洗风机。(10T炉排烟道无阀门)

6、接通加热器的电源开关,按规定的温度曲线进行控制退火。

7、退火过程中要经常检查电器、机械运转情况,如加热器、循环风机、轴承等。

8、退火过程中注意各区的金属温升情况,操作手可根据具体情况小范围调整炉气温度(一般在±10℃左右),保证每区的温度大到一致。

9、若在规定时间内,金属温度超过金属温限上限,可适当冷却,若未达到金属温下限,则可延长保温时间,直到达到金属温限。

10、退火结束后,依次停加热器、轴流风机、吹

风机、循环风机。打开炉门出炉。

以上就是有关退火炉操作规程这方面常识的介绍,希望这些小常识可以对您有帮助,如果你想了解更多有关退火炉这方面的常识,请关注漂亮女人街吧。


"小编整理不易,小礼物走一走,万分感谢!"
赞赏
漂亮女人街

真诚赞赏,手留余香

相关资讯

电工特种作业证怎么考
电工特种作业人员操作证,从事电气设备安装、维修等工作必须持有的证件,是经过国家安全生产相关培训和注册的证明。那么电工特种作业证怎么考?接下来漂亮女人街来为大家讲解下吧。 电工特种作业操作证考试流程: 1
2022元旦能不能去成都
成都旅游作为网红聚集地,一年四季到该地区旅游的人多的数不胜数,这不眼下就元旦越来越近,很多友友都制定的去成都游玩的计划,不过因冬季是疫情爆发的最佳时间,所以大家纷纷好奇元旦去成都穿什么合适。2022元旦能
高速公路长下坡路段刹车失灵怎么办
在高速公路长下坡路段遇到刹车失灵是非常可怕的,对于生命也是有很大的危害,所以说要时刻了解这些安全驾驶知识,那么高速公路长下坡路段刹车失灵怎么办?漂亮女人街来给大家介绍一下。高速公路长下坡路段刹车失灵可
赌债是否属于夫妻共同债务
现在赌博歪风盛行,赌博不仅危害了个人的心灵、意志、身体、家庭和前途,还影响到社会的稳定与和谐。那么赌债是否属于夫妻共同债务? 根据《婚姻法》规定,离婚时,原为夫妻共同生活所欠的债务,应当共同偿还。共同
led日间行车灯和雾灯区别
我们生活当中车辆对我们来说并不陌生,但是有很多小的细节我们不是很清楚,这就需要我们去学习。例如如何正确使用汽车灯光以及led日间行车灯和雾灯区别。下面我们大家就一起来了解一下。LED日间行车灯是一款安装在
公房买卖怎么办理房产证
房产证是你拥有某套房屋所有权的凭证!在房屋产权转移时需要出具的证明之一,十分重要。那么公房买卖怎么办理房产证? 一、买卖双方进行房产交易后一个月内持房屋买卖合同和其他证件到房地产交易所办理买卖过户登记。